Die Performance von Elektronenstrahlgeräte wird durch externe Magnetfelder negativ beeinflusst. Aus diesem Grund müssen insbesondere in Städten, mit vielen Störquellen, Massnahmen getroffen werden, um solche Geräte betreiben zu können. Nachfolgend sind vier Referenzprojekte beschrieben.

TEM Raumabschirmung – IMP Vienna BioCenter

Vienna BioCenter

Das Forschungsinstitut für Molekulare Pathologie (IMP) beabsichtigte ein neues Forschungslabor zu bauen, in dem das High-End TEM-Mikroskop Krios G4 von ThermoFisher installiert werden soll.
Da die Magnetfeldschwankungen im Vienna BioCenter aufgrund der nahen U-Bahn- / Strassenbahnlinien und internen Quellen sehr hoch und die geforderten Spezifikationen mit <10nT sehr tief sind, entschied sich das IMP, den Raum mit dem passiven Systron LabShield® Konzept und einem zusätzlichen aktiven Magnetfeld-Kompensationssystem abzuschirmen.

Systron plante, konstruierte und installierte die passive und aktive Abschirmung einschliesslich einer Vorsatzschalen zum Schutz des empfindlichen Abschirmmaterials und der Profile zur Befestigung der laborinternen Installationen.

Mit dem realisierten Abschirmkonzept konnten die Magnetfeldpegel im sensiblen Bereich der Mikroskopsäule auf deutlich unter den Zielwert von 10 nTpp reduziert werden, während der Magnetfeldpegel im ungeschirmten Nachbarraum bis zu 1400 nTρρ betrug.

Quantenphysik Raumabschirmung ZAQuant Universität Stuttgart

Die Universität Stuttgart baut einen neuen Laborkomplex für das Zentrum für angewandte Quantentechnologie (ZAQuant). Eines der vier Hochpräzisionslabore muss höchste Anforderungen an den Erschütterungs- und Lärmschutz sowie den Schutz vor elektromagnetischen Feldern erfüllen.

Der Raum wurde als freistehender Quader konstruiert, der auf die bodenseitige Abschirmung aufgesetzt wurde. Anschließend musste die Abschirmung an den anderen fünf Seiten auf der Aussenfläche des Quaders angebracht werden.

Die Systron EMV GmbH schirmte das Labor mit zwei passiven Schirmebenen, basierend auf Systron LabShield® ab, um die magnetischen Feldpegel im Frequenzbereich von 0 Hz bis 625 Hz zu reduzieren.

Die durchgeführten Abnahmemessungen zeigten, dass die Abschirmung die Magnetfelder entsprechend den Anforderungen auf < 14 nTpp reduzierte.

TEM Raumabschirmung ScopeM ETH Zürich

Die ETH Zürich und ihr Wissenschaftliches Zentrum für Optische und Elektronenmikroskopie (ScopeM) beabsichtigten, zwei neue Mikroskopierräume zu bauen. Zum Zeitpunkt des Baus waren die konkreten Mikroskoptypen noch nicht definiert. Die Zielwerte für die veränderlichen magnetischen Felder wurde auf 20 nTρρ in der Mitte des Raums festgelegt.

Da sich eine Starkstromleitung und zwei Aufzüge in der Nähe des Raumes befanden, entschied sich die ETH für eine passive Abschirmung der Räume mit Systron LabShield®.

Systron plante, konstruierte und installierte die passive Abschirmung, inklusive Vorsatzschale zum Schutz des sensiblen Abschirmmaterials und der Profile zur Befestigung der laborinternen Installationen.

Die Kontrollmessungen nach der Installation der Abschirmung ergaben, dass die Magnetfeldwerte auch über einen längeren Zeitraum, in allen Feldrichtungen, unter 20 nTpp liegen.

TEM Raumabschirmung DCN TU-Dresden

Neubau DCN TU-Dresden

An der TU-Dresden müssen für das Dresden Center for Nanoanalysis (DCN) zwei Laborräume für TEM Elektronenmikroskope bezüglich magnetischen Störfeldern höchsten Anforderungen genügen. Massnahmen sind deshalb notwendig, weil die sich in der Nähe befindliche Tramstrecke massive DC Shifts verursachte. Da Transmissionselektronenmikroskope (TEM) eingesetzt werden, bestehen besonders hohe Anforderungen für die magnetischen veränderlichen Restfelder im langsamen DC-Frequenzbereich (<1Hz). Ein Zielwert von <20nT wird vorgegeben.

Um die geforderten Zielwerte zu erreichen entwickelte Systron ein Abschirmkonzept basierend auf Systron LabShield®.

Im vorliegenden Projekt wurden die zwei Mikroskopieräume mit thermisch behandeltem Nickel Eisen (Mu-Metall) allseitig komplett geschirmt.

Messungen nach Installation der Abschirmung bestätigten, dass die geforderten Zielwerte erreicht werden.


Weitere Referenzen / Kunden

Jahr Projekt / Kunde Beschreibung Ausführung
2021 EPFL, Prof. Stahlberg Kompensationssysteme für 5 TEM Labore Aktive Kompensation
2020 Ruhruniversität Bochum TEM Raumabschirmung (Jeol) Systron PowerShield® mit aktiver Kompensation
2020 Universität Florenz Partielle Abschirmung für TEM Labor (Thermo Fisher) Systron PowerShield® mit aktiver Kompensation
2020 Uniklinikum Düsseldorf Laborabschirmung für Nassforschung Systron PowerShield®
2019 ETH HPF B104 / B108, Prof. Home Partielle Raumabschirmung für 2 Quantenphysiklabore Systron PowerShield®
2019 Pasteur Paris, Prof. Hanein FIB SEM Raumabschirmung (Thermo Fisher) Systron PowerShield® mit aktiver Kompensation
2019 Humboldt Universität Berlin, Prof. Dr. Koch TEM Raumabschirmung (Nion) Systron PowerShield®
2019 Universität Zürich, Dr. Andres Käch Partielle Raumabschirmung für TEM-Labor (Thermo Fisher) Systron PowerShield® mit aktiver Kompensation
2017 AMTC Dresden, Dr. Finken Abschirmkabine für Maskenschreiber / Halbleitertechnik (Nuflare) Systron PowerShield®
2017 ETH HCP, Prof. Gambardella Partielle Raumabschirmung Labor Systron PowerShield®
2014 EPFL, Dr. Cantoni TEM Raumabschirmung (Thermo Fisher) Systron PowerShield®
2014 AMTC Dresden, Dr. Finken 2 Abschirmkabinen für Maskenschreiber / Halbleitertechnik (Nuflare) Systron PowerShield®